Mahsulotlar tavsifi
Toza xona ishlab chiqarishning yuragi,Yarimo'tkazgichli vakuum nasoslarianiqlik{0}}mikroelektronika ishlab chiqarishning o'ta qattiq talablariga javob beradigan tarzda ishlab chiqilgan. Bu nasoslar mukammal toza, barqaror va tebranishsiz vakuum{2}} muhitini ta'minlash uchun mo'ljallangan, bu hatto mikroskopik ifloslanish ham mahsulotning halokatli ishdan chiqishiga olib kelishi mumkin bo'lgan jarayonlar uchun juda muhimdir.mahsulotko'pincha agressiv texnologik gazlarga bardosh bera oladigan maxsus materiallardan-yog'siz va korroziyaga-bardoshli dizaynlardan universal tarzda foydalaniladi. Ular kerakli yuqori vakuum darajalariga, odatda 0,001 Paskalgacha, sozlanishi oqim tezligiga erishadilar va nozik nanostrukturalarga zarar yetkazmaslik uchun juda past tebranish profillarini namoyish qilish uchun ishlab chiqilgan.
Ularning modulli dizayn falsafasi murakkab asboblar to'plamlariga to'g'ridan-to'g'ri integratsiya qilish imkonini beradi va oson xizmat ko'rsatishni osonlashtiradi, bu esa qimmatbaho asboblarning ishlamay qolish vaqtini minimallashtirish uchun juda muhimdir. ning asosiy qo'llanilishiYarimo'tkazgichli vakuum nasoslariNomidan ko'rinib turibdiki, ular yarimo'tkazgich sanoatida, ular chip ishlab chiqarishning deyarli har bir bosqichida qo'llaniladi, ya'ni yotqizish va joylashtirishdan ion implantatsiyasi va litografiyagacha. Ular elektron qadoqlash va fotovoltaik hujayralar ishlab chiqarish kabi tegishli sohalarda ham juda muhimdir. Elektronikadan tashqari, bu nasoslar kauchuk va plastmassa mashinalarida yuqori{2}}tozalikdagi yarimo'tkazgich-nasllarini qayta ishlash uchun ishlatiladi. Oziq-ovqat mahsulotlarini qadoqlashda ular sezgir elektron komponentlar uchun maxsus qadoqlashni ishlab chiqishda yordam beradi. Maxsus vakuumli qoplama tizimlarida,mahsulotsoflik va ishonchlilikni talab qiluvchi yarimo'tkazgich{0}}darajali qoplama jarayonlarini bajarish uchun zarurdir. Jarayoningizning muvaffaqiyati beg'ubor va o'zgarmas vakuumga bog'liq bo'lsa,Yarimo'tkazgichli vakuum nasoslarianiq va ishonchli yechimdir.
|
Asosiy parametrlar |
raqam turi |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Nasos tezligi, m3/soat |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Yakuniy bosim, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Aylanish tezligi, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Shovqin Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maksimal suv iste'moli, L / min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Kirish diametri, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Egzoz portining diametri, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Dvigatel quvvati, kVt |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Nasos boshining og'irligi, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Issiq teglar: yarimo'tkazgichli vakuum nasoslari, Xitoyning yarimo'tkazgichli vakuum nasoslari ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi